240 私信
这个人很懒,暂无签名信息
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    膜法师提出了问题 2020-06-17 13:55
    请教一个AF真空镀膜难题!

    机器双门,一边八个8面不锈钢桶工作流程粗抽至5×10 2 开罗茨泵 同步开启料桶公自转离子轰击充氩气至真空度6.5~7.5×10 0 离子轰击设置电压750 功率70% 电流1.5-2 A 轰击420秒继续粗抽至5×10 0开精抽4×10 -3开始磁溅射硅靶,充氩气160 氧气740,硅靶功率5.5KW ,电流15A溅射时间5分钟左右,溅射时料桶公自转溅射完成开启蒸发钼舟药丸,蒸发电压1.5-2V...

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李望来
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