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中频磁控溅射蒸发镀膜技术讨论专题磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电子交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。在近...

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真空镀膜机维护方法

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真空镀膜机原理及故障分析

作者:陈敏 王寸华 来自《光电子技术》

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