真空镀膜机维护方法
第一章 电子枪 此因素会导致以下问题:
2)枪头清洁方式 2)清洁周期:清洁周期为 12小时一次; 如产生较多异物质,中合电流值会上升; 4)离子源灯丝 必须保障油量满足在上下基准显示值范围内; 每3个月将油全部排除,并作过 滤处理之后回填,将不足油量补充;油量补充到油标视窗的 2/3 的高度; 使用 6个月后,最好将 油全部更换;油过滤器--- 如有 微小的移动空隙,就应给于清洁 或更换。
第 4章 冰水机(冷却机) -- 将真空室门开启的时间过长;
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